[发明专利]电性检测机台在审
申请号: | 201410718463.1 | 申请日: | 2014-12-02 |
公开(公告)号: | CN104714056A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 顾伟正;吕绍玮;宋宏志;陈俊男 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种电性检测机台,包含一机台、一承台、一探针架、一支架、一检测臂、一安置座及多个探针组。该机台具有相平行的二第一导轨;该承台设于该机台上;该探针架设于该机台上,且具有多个设置区;该支架设于该二第一导轨上,且可相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;该检测臂设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可与该支架同步移动及相对该支架移动;该安置座设于该检测臂上,且可相对该检测臂转动或移动;其中一探针组设于该安置座,而其他探针组则分别设于该探针架的设置区;另外,设于该安置座上的探针组可与该安置座同步移动。 | ||
搜索关键词: | 检测 机台 | ||
【主权项】:
一种电性检测机台,用于对一待测物进行电性检测,且包括:一机台,具有相平行的二第一导轨;一承台,设于该机台上,且用于供该待测物放置;一探针架,设于该机台上不同该承台设置处的位置上,且具有多个设置区;一支架,设于该二第一导轨上,且可沿该二第一导轨相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;一检测臂,设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可被该支架带动而与该支架同步移动,且可沿该第二导轨相对该支架移动;一安置座,设于该检测臂上,并可被该检测臂带动而与该检测臂同步移动,且可相对该检测臂转动或移动;以及多个探针组,其中一探针组以可拆装的方式设于该安置座上,而其他探针组则分别已可拆装的方式设于该探针架的设置区上;另外,该设于该安置座上的探针组可被该安置座带动而与该安置座同步移动,且用于供与放置于该承台上的该待测物上的待测部位抵接以进行电性检测。
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