[发明专利]金属掩膜板对位装置在审
| 申请号： | 201410724843.6 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105648400A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属掩膜板对位装置，包括暗箱、摄像装置、工控机和蒸镀机主PC，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述摄像装置安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述摄像装置用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机。本发明的金属掩膜板对位装置通过采用CCD摄像机采集OLED基板的对位图像并将所述对位图像信息传递给工控机进行处理，处理信号及预先设置的精度信息实现对OLED基板的二次定位，从而实现提高OLED金属掩膜板对位精度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 对位 装置 | ||
【主权项】：
一种金属掩膜板对位装置，包括暗箱、摄像装置、工控机和蒸镀机主PC，其特征在于，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述摄像装置安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述CCD摄像机用于获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机；所述工控机通过线路与蒸镀机主PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通信；所述OLED金属掩膜板对位装置还包括与工控机实现信号连接的显示器，用于显示控制参数及状态等信息；所述工控机与蒸镀机主PC具体通过I2C总线实现信号连接。
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