[发明专利]一种基体表面高导电性的碳基涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201410727479.9 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104388902A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张栋;张海峰;汪爱英;柯培玲;陈仁德 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基体表面高导电性的碳基涂层。该涂层由铜和类石墨非晶碳组成，铜作为过渡层，类石墨非晶碳作为表面层，并且该涂层的沉积方法为直流磁控溅射法。与现有技术相比，本发明能够保证非晶碳涂层的结构以sp2键态为主，从而减小电阻率，同时采用铜作为过渡层有利于诱导类石墨非晶碳涂层中芳香类环状sp2结构的断链，形成更多sp2链结构，增加自由电子，从而进一步降低碳涂层的电阻率，提高其导电性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 导电性 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基体表面高导电性的碳基涂层，其特征是：由位于基体表面的过渡层以及位于过渡层表面的类石墨非晶碳层组成，所述的过渡层材料为铜；所述的过渡层与类石墨非晶碳层采用直流磁控溅射法沉积。
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