[发明专利]主动元件电路基板

摘要

本发明提供一种主动元件电路基板，其包括基板、多个主动元件以及第一平坦层。主动元件设置在基板上。各主动元件包括栅极、通道层、源极以及漏极。通道层与栅极堆叠设置。源极以及漏极设置在通道层上且位于通道层的相对两侧，以定义出通道层的通道区。第一平坦层设置在基板上，其中主动元件包括至少一第一主动元件以及至少一第二主动元件。第一主动元件设置在第一平坦层与基板之间，且第一平坦层设置在第一主动元件与第二主动元件之间。第一主动元件的通道区与第二主动元件的通道区在平行基板的方向上的最小直线距离大于或等于5μm。

主权项

1.一种主动元件电路基板，其特征在于，包括：基板；多个主动元件，设置在该基板上，各该主动元件包括栅极、通道层、源极以及漏极，该通道层与该栅极堆叠设置，该源极以及该漏极设置在该通道层上且位于该通道层的相对两侧，以定义出该通道层的通道区；以及第一平坦层，设置在该基板上，其中该些主动元件包括至少一第一主动元件以及至少一第二主动元件，该至少一第一主动元件设置在该第一平坦层与该基板之间，且该第一平坦层设置在该至少一第一主动元件与该至少一第二主动元件之间，该第一主动元件的该通道区与该第二主动元件的该通道区在平行该基板的方向上的最小直线距离大于或等于5μm。