[发明专利]真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统无效
| 申请号： | 201410730511.9 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104404449A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王洪权;刘晓华;张朝奎 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116013 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。本发明能实现自动控制快速冷却的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本低廉的显著有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 空腔 快速 冷却系统 | ||
【主权项】：
真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,其特征在于：所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。
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