[发明专利]非挥发性存储单元及其制作方法

摘要

本发明公开一种非挥发性存储单元及其制作方法，该非挥发性存储单元包含一基底、一抹除栅，设在基底上且具有一平坦顶面、两浮置栅，分别设在抹除栅两侧、两控制栅，分别设在两浮置栅上、以及两选择栅，分别设在两浮置栅外侧，其中该两选择栅具有倾斜的顶面且相互对称。

主权项

一种非挥发性存储单元，包含：基底；两堆叠结构，设在该基底上，其中各该堆叠结构包含浮置栅以及控制栅位于该浮置栅上；抹除栅，设在该基底上且位于该两堆叠结构之间，其中该抹除栅具有平坦顶面；以及两选择栅，分别设在该两堆叠结构外侧，其中该两选择栅具有倾斜的顶面且相互对称。