[发明专利]一种喷淋系统及其使用方法在审
| 申请号： | 201410735183.1 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104391433A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 周伟;赵永冬;徐立铭;谢金涛;黄林;姚亮 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种喷淋系统及其使用方法，该喷淋系统包括：具有多个喷头的多个级联设置的喷淋构件，喷淋液供给系统，喷淋液回收系统，以及控制系统，其中控制系统用于在喷淋系统工作阶段控制喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋，以及在喷淋结束后控制喷淋液回收系统对喷淋液进行回收，还包括：清洗液供给系统，用于在清洗阶段在控制系统的控制下，对各喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；废液处理系统，用于在清洗阶段结束后在控制系统的控制下，对清洗后的废液进行排放，相对于现有的喷淋系统，增加了清洗液供给系统和废液处理系统，这样可以实现对喷淋系统全自动清洗的功能，有效去除管路及喷头内的异物，提高清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种喷淋系统，包括具有多个喷头的多个级联设置的喷淋构件，喷淋液供给系统，喷淋液回收系统，以及控制系统，其中所述控制系统用于在喷淋系统工作阶段控制所述喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋，以及在喷淋系统工作阶段结束后控制所述喷淋液回收系统对喷淋液进行回收，其特征在于，还包括：清洗液供给系统，用于在清洗阶段在所述控制系统的控制下，对各所述喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；废液处理系统，用于在清洗阶段结束后在所述控制系统的控制下，对清洗后的废液进行排放。
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