[发明专利]一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置及其方法

摘要

一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置及其方法，确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，电阻率达到2×10‑4Ω/cm、透过率达到90％以上；明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，确实节能环保。一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置，是由连续性真空磁控溅射镀膜设备室，真空室温控门，真空门加热器，真空门均温加热器，磁控溅射磁悬浮车靶装置，真空墙体上加热器，真空墙体中间加热器，真空墙体下加热器，真空室温控后墙体，钐钴磁铁装置构成。

主权项

一种ITO膜磁控溅射磁悬浮车靶均匀加热装置，是由：连续性真空磁控溅射镀膜设备室(1)，真空室温控门(2)，真空门加热器(3)，真空门均温加热器(3‑1)，磁控溅射磁悬浮车靶装置(4)，真空墙体上加热器(5)，真空墙体中间加热器(6)，真空墙体下加热器(7)，真空室温控后墙体(8)，钐钴磁铁装置(9)构成；其特征在于：连续性真空磁控溅射镀膜设备室(1)的一侧设置真空室温控门(2)，另一侧设置真空室温控后墙体(8)；真空室温控后墙体(8)与真空室温控门(2)之间对应设置磁控溅射磁悬浮车靶装置(4)，磁控溅射磁悬浮车靶装置(4)上方对应设置钐钴磁铁装置(9)；真空室温控门(2)一侧设置至少一列真空门加热器(3)，每列真空门加热器(3)横向均布设置为至少三个；且每列真空门加热器(3)的两侧分别竖向设置至少一个真空门均温加热器(3‑1)；真空室温控门(2)一侧设置两列真空门加热器(3)，每列真空门加热器(3)横向均布设置为五个；且每列真空门加热器(3)的两侧分别竖向设置一个真空门均温加热器(3‑1)；真空室温控后墙体(8)上部一侧设置至少一个真空墙体上加热器(5)，真空室温控后墙体(8)下部一侧设置至少一个真空墙体下加热器(7)；真空墙体下加热器(7)与真空墙体上加热器(5)之间设置至少一个真空墙体中间加热器(6)。