[发明专利]闭合回路电解液分析器有效
| 申请号： | 201410738268.5 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104695002B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·H·奥伯莱特纳;卡梅伦·H·劳;贾斯汀·鲍彻 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/14 | 分类号： | C25D21/14;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于电镀半导体晶片和类似基板的处理系统包括电解液贮槽、通过流体管线连接到所述电解液贮槽的至少一个处理腔室以及电解液分析器。所述电解液分析器可具有在所述电解液贮槽中的探测器(比如伏安法探测器)、泵、储存器以及至少一个阀，其中这些部件通过流体管线连接以形成流体回路。所述阀可以是能转换的以提供闭合的流体回路和提供开放的流体回路，在所述闭合的流体回路中电解液循环通过探测器以分析电解液，所述开放的流体回路用以去除已用过的电解液和从贮槽引入新的电解液到流体回路中。已用过的电解液可以排送到排放设施并且不再返回到电解液贮槽，以减小污染的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 闭合 回路 电解液 分析器 | ||
【主权项】：
一种处理系统，包括：电解液贮槽；至少一个处理腔室，所述至少一个处理腔室通过处理腔室流体管线连接到所述电解液贮槽；电解液分析器，所述电解液分析器包括：探测器，所述探测器至少部分地在所述电解液贮槽内；泵；阀，所述阀可转换到第一位置和第二位置；以及探测器流体管线，所述探测器流体管线将所述探测器至少间接地连接到所述泵和所述阀，其中所述泵、所述阀、所述探测器和所述探测器流体管线形成流体回路，当所述阀在所述第一位置时所述流体回路是闭合的流体回路，当所述阀在所述第二位置时所述流体回路是开放的流体回路。
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