[发明专利]一种具有高绒度的FZO透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开的一种具有高绒度的FZO透明导电薄膜的制备方法，包括如下步骤：1）采用磁控溅射法制备氟掺氧化锌薄膜；2）将步骤1）的FZO薄膜浸入体积浓度为0.01~1.0%的腐蚀性溶液中刻蚀，取出后清洗并干燥；3）将经步骤2）处理的FZO薄膜再放入磁控溅射设备生长室中，进行等离子刻蚀10-30min，获得具有高绒度的FZO薄膜。本发明采用磁控溅射法结合湿化学刻蚀、等离子刻蚀的方法制备FZO透明导电薄膜，所获得的薄膜具有较高的绒度，且电学性能明显提高，有利于其在太阳能电池中的应用，此外，本发明的制备方法工艺简单，重复性好，适用于大面积生长。

主权项

一种具有高绒度的FZO透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）制备氟掺氧化锌薄膜：将洁净的衬底放入磁控溅射设备生长室内，以Zn_1‑xF_xO陶瓷靶为靶材，0<x≦0.3，抽真空至真空度至少为5×10^‑6Torr，加热衬底至25～500℃，向生长室中通入Ar，并调节生长气压至1~20mTorr，溅射功率为50～200W，生长15~60min，获得FZO薄膜；2）湿化学刻蚀：将步骤1）的FZO薄膜浸入体积浓度为0.01 ~ 1.0 %的腐蚀性溶液中保持1~60s，取出后清洗并干燥；3）等离子刻蚀：将经步骤2）处理的FZO薄膜放入磁控溅射设备生长室中，抽真空至真空度至少为5×10^‑6Torr，加热衬底至20～200℃，向生长室内按流量比为100:5‑30通入Ar和H₂，调节工作气压至10~50Pa，溅射功率为20‑100W，进行等离子刻蚀10‑30min，获得具有高绒度的FZO薄膜。