[发明专利]微机电装置在审
| 申请号： | 201410767464.5 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN105731353A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 林炯彣;罗烱成;康育辅 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电装置，其包含：一基板，具有平行于基板的一入平面方向；一质量块，具有不同的感测方向的一第一活动电极与一第二活动电极，质量块的内部通过一多维弹簧与一弹簧锚点连接于基板；以及一第一固定电极与一第二固定电极，分别通过一第一电极锚点与一第二电极锚点与基板相连，第一电极锚点与第二电极锚点与弹簧锚点相邻，第一固定电极与第一活动电极而形成一第一电容，第二固定电极与第二活动电极而形成一第二电容，第一电容与第二电容用以感测质量块的一运动状态。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，其特征在于，包含：一基板；一质量块，具有不同的感测方向的一第一活动电极与一第二活动电极，该质量块的内部具有一中空部分；一弹簧、一弹簧锚点、一第一电极锚点与一第二电极锚点，位于该中空部分内，该质量块通过该弹簧与该弹簧锚点连接于该基板；以及一第一固定电极与一第二固定电极，分别通过该第一电极锚点与该第二电极锚点与该基板相连，该第一固定电极与该第一活动电极形成一第一电容，该第二固定电极与该第二活动电极形成一第二电容，该第一电容与该第二电容用以感测该质量块的一运动状态；其中，且在该弹簧与弹簧锚点之间不包含该质量块或是任何固定电极的一部分。
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