[发明专利]一种三氯化硼的提纯方法及其设备

摘要

本发明公开了一种三氯化硼的提纯方法，将3N三氯化硼原料通入气瓶提纯管道内气化，将气化后的三氯化硼气体依次通过分解罐加热催化分解、水冷器冷却、吸附罐吸附、精馏塔精馏，将所含与三氯化硼沸点接近的低沸点杂质气体和含硅及其他金属杂质去除，最后经低温灌装，完成5N三氯化硼提纯。本发明还提供一种提纯设备。与现有技术相比，本发明能够提高三氯化硼的提纯纯度，同时，流程简单，操作方便。

主权项

1.一种三氯化硼的提纯方法，其特征在于，将3N三氯化硼原料通入气瓶提纯管道内气化，将气化后的三氯化硼气体依次通过分解罐加热催化分解、水冷器冷却、吸附罐吸附、精馏塔精馏，将所含低沸点杂质气体和含硅及其他金属杂质去除，最后经低温灌装，完成5N三氯化硼的提纯；包括以下步骤：(1)气化：将三氯化硼原料通入气瓶提纯管道中，并在气瓶外设置加热设备，控制气瓶内压力范围为0.4‑0.7MPa ，并保持气瓶中饱和压力恒定；(2)加热催化分解：将经(1)步骤气化后的三氯化硼气体通入预热至200℃的分解反应罐中，以活性碳作催化剂，将三氯化硼中的光气分解为氯气和一氧化碳；(3)冷却：将步骤(2)反应后的气体通过水冷器冷至室温，所述室温温度范围为20‑25℃；(4)吸附：将冷却后的气体通入装有吸附剂的吸附罐进行吸附，所述冷却后的气体从吸附罐底部进入、从吸附罐的顶部出，气体的流速控制在0.15‑0.4m/s，所述吸附剂为活性碳；(5)精馏：将经步骤(4)后的三氯化硼气体通过颗粒过滤器后引入精馏塔进行精馏，所述精馏塔包括加热釜、第一冷凝器和第二冷凝器，所述三氯化硼气体依次通过加热釜、第一冷凝器和第二冷凝器进行精馏，所述第二冷凝器中的温度低于所述第一冷凝器中的温度；(6)将经步骤(5)精馏后的三氯化硼进行常温降温处理，并出料，所述常温降温温度范围为20‑25℃。