[发明专利]静电卡盘清洁固定器有效
| 申请号： | 201410767948.X | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104707832B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 阿门·阿沃扬;克里夫·拉克鲁瓦;石洪;肯尼特·白莱恩 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及静电卡盘清洁固定器，具体而言，用于在清洁工艺中保护适于支撑半导体衬底的静电卡盘的清洁固定器组件包括被配置为与静电卡盘的背面对齐并啮合的板，该板具有包围袋状部的环形密封部。该清洁固定器组件还包括与板的环形密封部啮合的第一O形环、在板的袋状部中的多个通孔、以及包围板的袋状部中的多个通孔的多个O形环。多个通孔被配置为与静电卡盘的背面中的升降销孔和氦孔对齐并流体连通，且多个O形环被设定位置以允许清洁媒质在清洁工艺中占据静电卡盘中的升降销孔和氦孔，同时密封使得清洁媒质不能到达静电卡盘的背面。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 清洁 固定器 | ||
【主权项】：
一种用于在清洁工艺中保护静电卡盘的清洁固定器组件，所述静电卡盘适于支撑半导体衬底，所述清洁固定器组件包括：被配置为与静电卡盘的背面对齐并啮合的板，所述板具有包围袋状部的环形密封部，与所述板的所述环形密封部啮合的第一O形环，在所述板的所述袋状部中的多个通孔，以及包围所述板的所述袋状部中的所述多个通孔的多个O形环；其中所述多个通孔被配置为与所述静电卡盘的所述背面中的升降销孔和氦孔对齐并流体连通，且所述多个O形环被设定位置以允许清洁媒质在清洁工艺中占据所述静电卡盘中的所述升降销孔和氦孔，同时密封使得所述清洁媒质不能到达所述静电卡盘的所述背面。
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