[发明专利]熔丝结构以及其监控方式有效
| 申请号： | 201410770334.7 | 申请日： | 2014-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN105762137B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 苏煜翔 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种熔丝结构以及其监控方式。该熔丝结构包括一基底、一熔丝主体以及一辅助元件。熔丝主体设置于基底上。辅助元件包括一源极区以及一漏极区分别设置于熔丝主体的两相对侧，辅助元件用以监控并诊断熔丝主体。熔丝主体与源极区以及漏极区电性分离。一种熔丝结构的监控方式包括施加一漏极电压信号至辅助元件的漏极区、施加一栅极电压信号至熔丝主体以及分析由源极区所获得的一信号以诊断熔丝主体的状况。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 及其 监控 方式 | ||
【主权项】：
一种熔丝结构，包括：基底；熔丝主体，设置于该基底上；以及辅助元件，该辅助元件包括源极区以及漏极区，分别设置于该熔丝主体的两相对侧，该辅助元件用以监控并诊断该熔丝主体，且该熔丝主体与该源极区以及该漏极区电性分离。
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