[发明专利]一种利用原子层沉积钝化层抑制金属表面积碳的方法

摘要

本发明公开了一种抑制金属表面积碳的方法。该方法消除了高温下由金属催化作用形成的积碳，延长流体系统的使用寿命。主要步骤是：(1)将待钝化的流体系统与原子层沉积系统气路进行连接；(2)对流体系统内壁进行惰性化合物原子层沉积，具体步骤为：向反应腔内注入第一种反应前驱体；清洗后注入第二种反应前驱体，再清洗；(3)循环执行上述操作，通过控制循环周期数获得所需厚度的钝化层。本发明自动化程度高，重复性好；过程温度较低，对基底不造成损伤；沉积过程薄膜厚度控制精确，不易造成流体通道阻塞，适用于对造价昂贵、结构复杂的流体系统进行钝化加工。

主权项

一种利用原子层沉积钝化层抑制金属表面积碳的方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一，将待钝化金属与原子层沉积系统气路连接，使气体直接流经待钝化金属表面；步骤二，向原子层沉积系统内通入惰性载气并抽真空，调节系统反应腔出口阀门使腔内压力处于负压；并通过加热使反应腔温度处于特定范围内，特定范围取决于所沉积的材料种类；步骤三，向反应腔内注入含Al、Ti、Si元素的第一种反应前驱体，时间为t₁；通入惰性载气冲洗过量的反应前驱体和副产物，时间为t₂；向反应腔内注入第二种反应前驱体，时间为t₃；再通入惰性载气冲洗未反应的第二种反应前驱体和副产物，时间为t₄；步骤四，重复执行相应周期数的步骤三，直至在待钝化金属表面生成所需厚度的惰性钝化层。