[发明专利]传片系统及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种传片系统及半导体加工设备。该传片系统包括转盘和机械手，在转盘上沿其周向间隔设置有多个承载位，每个承载位所在位置处设置有用于承载基片的至少一个支撑柱；转盘用于绕其轴向旋转使每个承载位旋转至传片位置；机械手用于在每个承载位旋转至传片位置之后，对该承载位所在位置处的支撑柱传片。本发明提供的传片系统及半导体加工设备，其不仅可以减少单次传片时间，从而可以提高传片效率和设备产率；而且还可以减小机械手和转盘分别与顶针之间动作的互锁条件，从而可以减少传片过程的故障点和真空泄露点，进而提高传片系统的安全性、稳定性和可靠性；另外，由于省去顶针和其升降驱动器，因而可以降低投入成本和减小电气调试时间。

主权项

一种传片系统，包括转盘和机械手，其特征在于，在所述转盘上沿其周向间隔设置有多个承载位，每个所述承载位所在位置处设置有用于承载基片的至少一个支撑柱；所述转盘用于绕其轴向旋转使每个所述承载位旋转至传片位置；所述机械手用于在每个所述承载位旋转至传片位置之后，对该承载位所在位置处的所述支撑柱传片。