[发明专利]一种Z轴负向放大一维精密定位平台在审
申请号: | 201410784590.1 | 申请日: | 2014-12-16 |
公开(公告)号: | CN104464838A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 钟博文;王振华;金子祺;陈林森;钱哲;李宗伟;孙立宁 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 唐灵;常亮 |
地址: | 215137 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种Z轴负向放大一维精密定位平台,包括Z轴负向放大机构、用于保护Z轴负向放大机构的基座、位于Z轴负向放大机构上方的运动平台,所述Z轴负向放大机构包括若干柔性臂、固定在柔性臂两侧的平行板、连接柔性臂与运动平台的输出件、压电陶瓷安装件以及与基座连接固定的底盘,所述平行板通过柔性铰链与柔性臂柔性连接,位于所述平行板之间、所述Z轴负向放大机构下方、所述底盘上方的空间内设置有压电陶瓷,所述压电陶瓷通过设置在两侧的平行板上的压电陶瓷安装件固定。本发明相较于传统的放大定位平台具有行程范围大、精度高、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、分辨率高、纳米级、适宜作微动平台等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 大一 精密 定位 平台 | ||
【主权项】:
一种Z轴负向放大一维精密定位平台,其特征在于:包括Z轴负向放大机构、用于保护Z轴负向放大机构的基座、位于Z轴负向放大机构上方的运动平台,所述Z轴负向放大机构包括若干柔性臂、固定在柔性臂两侧的平行板、连接柔性臂与运动平台的输出件、压电陶瓷安装件以及与基座连接固定的底盘,所述平行板通过柔性铰链与柔性臂柔性连接,位于所述平行板之间、所述Z轴负向放大机构下方、所述底盘上方的空间内设置有压电陶瓷,所述压电陶瓷通过设置在两侧的平行板上的压电陶瓷安装件固定。
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