[发明专利]光刻胶组合物、形成图案的方法和薄膜晶体管衬底的制法有效
| 申请号： | 201410795461.2 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104793464B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李政洙;朴廷敏;朴成均;田俊;曹基铉;金智贤;金东敏;金升起;诸葛银 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/075;G03F7/20;H01L21/336 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开光刻胶组合物、形成图案的方法和制造薄膜晶体管衬底的方法，所述组合物包括溶剂、酚醛清漆树脂、重氮类光敏剂、由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物，在化学式1中，R1为氢原子或甲基，R2为芳族基团或烷基，所述烷基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，R3、R4和R5各自独立地为烷氧基，所述烷氧基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，并且X、Y和Z各自独立地为1‑100的整数。<化学式1> | ||
| 搜索关键词： | 烷基 个碳原子 烷氧基 支化 直链 丙烯酰基化合物 酚醛清漆树脂 光刻胶组合物 薄膜晶体管 芳族基团 光敏剂 氢原子 溶剂 衬底 重氮 图案 制造 | ||
【主权项】：
1.光刻胶组合物，其包括：/n溶剂；/n酚醛清漆树脂；/n重氮类光敏剂；和/n由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物，其中：/nR1为氢原子或甲基，/nR2为芳族基团或烷基，所述烷基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，/nR3、R4和R5各自独立地为烷氧基，所述烷氧基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，并且/nX、Y和Z各自独立地为1-100的整数，/n<化学式1>/n
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