[发明专利]复合硬质膜及表面包覆切削工具

摘要

本发明提供一种具备耐磨性、耐热性、化学稳定性及润滑性的复合硬质膜及表面包覆切削工具。本发明的复合硬质膜由α型或α型与γ型的混合相的氧化铝膜、及形成于该氧化铝膜的正下方的钛氧化物基底膜构成，其中，该氧化铝膜通过使用氧化铝溶胶的溶胶-凝胶法形成，该氧化铝溶胶含有β-二酮类、β-酮酯类、烷醇胺类的螯合剂中的至少任意一种螯合剂，基于纳米压痕法的硬度(H)为15GPa以上，该氧化铝膜中，优选含有平均粒径为5～20nm的微粒钛氧化物，且所述微粒钛氧化物中的钛在与铝的总量中所占的平均含有比例为2～20原子％。

主权项

一种复合硬质膜，其特征在于，所述复合硬质膜由氧化铝膜及钛氧化物基底膜构成，所述氧化铝膜，其平均膜厚为0.5～5.0μm，且为α型或α型与γ型的混合相，所述钛氧化物基底膜形成于该氧化铝膜的正下方且平均膜厚为0.2～2.0μm，该氧化铝膜通过溶胶‑凝胶法形成，利用纳米压痕法测定的硬度H为15GPa以上。