[发明专利]存储器装置、集成电路装置及其制造方法在审
申请号: | 201410798382.7 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN105321542A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 林立颖;叶腾豪;胡志玮;陈介方 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | G11C7/12 | 分类号: | G11C7/12;H01L27/115;H01L21/8247 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种存储器装置、集成电路装置及其制造方法。该集成电路装置包括:基板上的存储单元阵列;行/列线配置在阵列中;行/列线包含通路晶体管,通路晶体管在第一图案层内包括半导体层带;半导体层带包括半导体通道主体、接触区域及延伸部;接触区域位于半导体通道主体的一侧,延伸部位于半导体通道主体的另一侧,并延伸至阵列内的存储单元;选择线位于第二图案化层,第二图案化层横跨半导体通道主体。通路晶体管结构可实施于阵列中用于行/列线的扇出结构。 | ||
搜索关键词: | 存储器 装置 集成电路 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种集成电路装置,包括:一基板;一存储单元阵列,位于该基板上,该存储单元阵列包括一行/列线;该行/列线包括一通路晶体管结构,该通路晶体管结构包括:一半导体层带,位于该基板上的一第一图案化层内;该半导体层带包括一半导体通道主体、一接触区域及一延伸部,该接触区域位于该半导体通道主体的一侧,该延伸部位于该半导体通道主体的另一侧,该延伸部耦接该存储单元阵列;一选择线,位于一第二图案化层内,该第二图案化层横跨该半导体通道主体;一行/列线选择信号产生器,连接于该选择线,并产生一选择信号;以及一行/列线电压产生器,连接于该接触区域,并产生一行/列线电压。
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