[发明专利]一种半导体生产机台硬件性能的动态监控系统及监控方法有效
| 申请号： | 201410801945.3 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105759748B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 余志贤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体生产机台硬件性能的动态监控系统及监控方法，包括步骤：1)收集半导体生产机台的质量信息，整合所有的质量信息进数据库系统；2)由数据库系统分析并获得所述半导体生产机台的异常发生等级；3)判断所述异常发生等级是否超过正常标准；4)若所述异常发生等级在正常标准内，则半导体生产机台可继续进行生产工艺，不需检测维护；若所述异常发生等级在正常标准之外，则半导体生产机台需要检测维护，并且异常发生等级越高，检测维护的频率越高；反之则越低。通过本发明的监控方法可以以合理的频率进行生产机台的检测维护，降低晶圆报废的风险，同时降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 机台 硬件 性能 动态 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体生产机台硬件性能的动态监控方法，其特征在于，所述监控方法至少包括：1)收集半导体生产机台的质量信息，整合所有的质量信息进数据库系统；2)由数据库系统分析并获得所述半导体生产机台的异常发生等级；3)判断所述异常发生等级是否超过正常标准；4)若所述异常发生等级在正常标准内，则半导体生产机台可继续进行生产工艺，不需检测维护；若所述异常发生等级在正常标准之外，则半导体生产机台需要检测维护，并且异常发生等级越高，检测维护的频率越高；反之则越低。
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