[发明专利]半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统有效
| 申请号： | 201410806604.5 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105791345B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 孔庆宝 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H04L29/08 | 分类号： | H04L29/08 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，包括：服务端，服务端具有FA进程和FA守护进程；FA进程具有重置模块，重置模块用于RemoteServer服务；FA守护进程用于对FA进程进行监控，当FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；工控机，工控机与服务端进行通信，工控机具有Bridge进程，Bridge进程与FA进程进行通信。本发明实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行重启，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，提高使用体验。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺设备 服务端 工控机 通信 系统 | ||
【主权项】：
1.一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，包括：服务端，所述服务端具有FA进程和FA守护进程；所述FA进程具有重置模块，所述重置模块用于重置RemoteServer服务；所述FA守护进程用于对所述FA进程进行监控，当所述FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；以及工控机，所述工控机与所述服务端进行通信，所述工控机具有Bridge进程，所述Bridge进程与所述FA进程进行通信，其中，所述Bridge进程包括初始化通信模块和超时异常模块，所述初始化通信模块用于初始化并加载配置文件，所述超时异常模块用于获取所述服务端所容忍的超时时间，并更新所述配置文件，以及在IRemoteServer服务的时间超过所述超时时间且累计次数超过预设容忍次数时，调取所述服务端的RestartRemoteServer子模块对对应的IRemoteServer服务进行重启。
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