[发明专利]一种兼容多种工艺硅片的物料传输系统

摘要

本发明公开一种兼容多种工艺硅片的物料传输系统，包括硅片存储单元，机械手单元和预对准单元；预对准单元用于对所述硅片进行定心定向，包括一直线模组、升降模组、一旋转模组和定心台，所述直线模组和定心台均与一底板固定，所述升降模组与所述直线模组固定，由所述直线模组带动所述升降模组进行水平向运动，所述旋转模组的旋转轴与升降模组固定，由所述升降模组带动所述旋转模组进行垂向运动，所述旋转模组可带动其上的硅片进行旋转运动，所述旋转模组穿设于所述定心台，所述旋转模组位于最高位时，其上表面高于所述定心台的上表面，所述旋转模组位于最低位时，其上表面低于所述定心台的下表面。

主权项

1.一种兼容多种工艺硅片的物料传输系统，其特征在于，包括：一硅片存储单元，用于存储硅片，包括片库、设置在所述片库内的传送盒以及设置在所述传送盒内的硅片盒，所述传送盒包括罩壳、设置在所述罩壳内的硅片盒接口以及设置在所述罩壳底部的片库接口；一机械手单元，用于将传输所述硅片至不同工位，包括一片叉，所述片叉上设置有吸盘和凸台；所述吸盘包裹在所述凸台外部；一预对准单元，用于对所述硅片进行定心定向，包括一直线模组、升降模组、一旋转模组和定心台，所述直线模组和定心台均与一底板固定，所述升降模组与所述直线模组固定，由所述直线模组带动所述升降模组进行水平向运动，所述旋转模组的旋转轴与升降模组固定，由所述升降模组带动所述旋转模组进行垂向运动，所述旋转模组可带动其上的硅片进行旋转运动，所述旋转模组穿设于所述定心台，所述旋转模组位于最高位时，其上表面高于所述定心台的上表面，所述旋转模组位于最低位时，其上表面低于所述定心台的下表面。