[发明专利]用于校正激光束的设备以及校正激光束的方法在审
申请号: | 201410809674.6 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN104722917A | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 咸常根;徐永德;韩承范;梁相熙 | 申请(专利权)人: | AP系统股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 陶敏;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种用于校正激光束的设备和一种校正激光束的方法,且所述设备包含:激光光源,发射激光;输出端反射镜;以及至少一个校正透镜,布置在所述输出端反射镜之前。此外,所述设备包含:校正系统,收集关于穿过所述输出端反射镜的剩余激光束的线束轮廓数据;以及控制器,连接到所述校正系统且取决于从所述校正系统收集的所述线束轮廓数据的变形而控制所述校正透镜的移动。因为所述方法不需要为了校正激光线束而调谐所述校正系统,所以可缩短用于校正激光线束轮廓的时间。此外,因为可防止在激光线束到达目标的辐射位置中产生误差,所以可减少目标的缺陷且增大处理效率。 | ||
搜索关键词: | 用于 校正 激光束 设备 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种用于校正激光束的设备,其特征在于所述设备包括:激光光源,发射激光;输出端反射镜,将从所述激光光源发射的激光束反射到基板,其中所述输出端反射镜透射未被反射的剩余激光束;校正系统,包括至少一个校正透镜且基于所述激光束的输出方向布置在所述输出端反射镜之前,其中所述校正系统收集关于穿过所述输出端反射镜的所述剩余激光束的线束轮廓数据;以及控制器,连接到所述校正系统且取决于从所述校正系统收集的所述线束轮廓数据的变形而控制所述校正透镜的移动。
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