[发明专利]一种宽波段光全吸收器及其制备方法在审
申请号: | 201410810447.5 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN104656170A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 刘正奇;刘桂强;邵辉柏;刘晓山;黄珊 | 申请(专利权)人: | 江西师范大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 330000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种宽波段光全吸收器及其制备方法。该光全吸收器自下而上依次由金属膜层、介质膜层、金属纳米颗粒膜层共三层结构组成。整个宽波段光全吸收器结构全部可以通过技术已非常成熟的物理沉积方法包括离子溅射镀膜、脉冲沉积系统、磁控溅射镀膜等方法获得。其中,金属材料可以是铜、铝、金、银、钨等金属材质。本发明为实现宽波段光全吸收结构提供了一条全新且可行的简易途径,这与基于采用电子束刻蚀技术或聚焦离子束刻蚀技术等高精密技术而获得的有限尺寸的常规光全吸收器相比具有非常明显的结构和技术优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 波段 吸收 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种宽波段光全吸收器,它包括平整金属膜(1)、平整介质膜层(2)和金属纳米结构膜(3),其特征在于光学波段宽频带宽光谱光完美吸收及其由常规物理沉积方法即可获得大面积制备的低成本的三维亚波长金属‑介质结构自下而上依次由平整金属膜(1)、平整介质膜层(2)和金属纳米结构膜(3)组成。
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