[发明专利]用于将基板的基板位置压紧的压紧器

摘要

用于将基板的基板位置压紧的压紧器包含：板(1)，带有使得至少一个基板位置可接近用于结合裸片的中央开口(2)和与中央开口(2)相邻地布置在两侧上的两个另外的开口(3，4)；带有开口(11)和压紧器条(12)的压紧器板(10)；第一和第二气动驱动器；和对两个气动驱动器的压力室供应压缩气体的压力管线(9)。每个气动驱动器包含缸(5，6)和驱动元件，在缸(5、6)和驱动元件之间形成压力室。第一驱动器的缸(5)被固定在第一个另外的开口(3)的上方，且第二驱动器的缸(6)被固定在第二个另外的开口(4)的上方。

主权项

1.用于将基板的基板位置压紧的压紧器，包含：板(1)，所述板(1)带有中央开口(2)和与所述中央开口(2)相邻地布置在两侧上的两个另外的开口(3,4)；压紧器板(10)，所述压紧器板(10)带有开口(11)和在所述开口(11)处布置在底侧上的压紧器条(12)，其中所述压紧器板(10)以铰接的方式安装在所述板(1)的底侧上，使得所述压紧器板(10)的所述开口(11)与所述板(1)的所述中央开口(2)对准；第一气动驱动器和第二气动驱动器，其中所述第一气动驱动器和所述第二气动驱动器中的每一个均包含缸(5,6)和驱动元件，在所述缸(5,6)和所述驱动元件之间形成压力室，其中所述第一驱动器的所述缸(5)被固定在所述板(1)的上侧上，且被固定在所述另外的开口中的第一个开口(3)的上方，并且所述第二驱动器的所述缸(6)被固定在所述板(1)的上侧上，且被固定在所述另外的开口中的第二个开口(4)的上方；以及第一压力管线(9)，所述第一压力管线(9)用于对所述第一气动驱动器和所述第二气动驱动器的所述压力室供应压缩气体。