[发明专利]测量分度和具有该测量分度的光电位置测量仪

摘要

本发明题为“测量分度和具有该测量分度的光电位置测量仪”。本发明定义用于在第一方向(X)和垂直于第一方向伸展的第二方向(Y)测量位置的光电位置测量仪的测量分度(1)，其是可以特别容易地制造的，和通过所述测量分度能够精确地测量位置。测量分度(1)包括由在第一方向(X)和第二方向(Y)周期性地布设的光栅单元(2)构成的相栅。光栅单元(2)各自具有由线条形成的外部轮廓，所述线条包括两个相对的第一直边(K1)和两个垂直于所述第一直边伸展的相对的第二直边(K2)以及第一边(K1)与第二边(K2)之间的连接线(K3)，所述连接线分别合围成钝角(α)。

主权项

1.用于在第一方向（X）和垂直于第一方向伸展的第二方向（Y）测量位置的光电位置测量仪的测量分度，其包括具有在第一方向（X）和第二方向(Y)周期性地布设的光栅单元(2)的相栅,其特征在于，所述光栅单元（2）各自具有由线条形成的外部轮廓，所述线条包括两个相对的第一直边（K1）和两个垂直于所述第一直边伸展的相对的第二直边（K2）以及各个第一边（K1）与第二边（K2）之间的连接线（K3），其中所述第一边（K1）和所述连接线（K3）、以及所述第二边（K2）和所述连接线（K3）分别合围成钝角（α），光栅单元（2）分别由第一表面部分（F1）和第二表面部分（F2）组成，其中所述第一表面部分（F1）由凸出的反射面形成和所述第二表面部分（F2）是将所述外部轮廓包围的反射面，和其中凸出的反射面或将这个面包围的反射面具有所述的外部轮廓，以及光栅单元（2）第一表面部分（F1）和第二表面部分（F2）被选择使得反射相同的光强度。