[发明专利]透射式缺陷检查装置和透射式缺陷检查方法在审
申请号: | 201410817992.7 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN105784723A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 由良友和;小盐智;北田和生 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种透射式缺陷检查装置和缺陷检查方法。该透射式缺陷检查装置具备:线状照明装置,其向光学显示面板射出光;多个面阵相机,其排列成线状并与线状照明装置相对地安装,接收来自线状照明装置的光透射过光学显示面板后的透射光,并对光学显示面板进行拍摄;图像处理部,其处理利用面阵相机拍摄的光学显示面板的图像;控制部,其根据光学显示面板的移动速度控制面阵相机的拍摄时机,面阵相机以如下方式进行拍摄,即,第n(n≥1)次拍摄的光学显示面板的图像与第n+1次拍摄的光学显示面板的图像在光学显示面板的移动方向上部分重合。利用该透射式缺陷检查装置,能够防止缺陷的漏检,高效地检测缺陷。 | ||
搜索关键词: | 透射 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种透射式缺陷检查装置,其特征在于,其在光学显示面板的移动过程中检测该光学显示面板的缺陷,其具备:线状照明装置,其向所述光学显示面板射出光;多个面阵相机,其与所述线状照明装置相对地排列成线状并安装,接收来自所述线状照明装置的光透射过所述光学显示面板后的透射光,并对所述光学显示面板进行拍摄;图像处理部,其处理利用所述面阵相机拍摄的光学显示面板的图像;控制部,其根据所述光学显示面板的移动速度控制所述面阵相机的拍摄时机,所述面阵相机第n次拍摄的所述光学显示面板的图像与第n+1次拍摄的所述光学显示面板的图像在所述光学显示面板的移动方向上部分重合,其中,n≥1。
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