[发明专利]一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体旋转缩颈引晶控制方法

摘要

本发明涉及一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体旋转缩颈引晶控制方法，采用的是旋转缩径/引晶的方式，籽晶的旋转设定为1-3rpm，缩颈旋转引晶有利于操作者找到合适的引晶温度，有效的减少缺陷的遗传。本发明利用缩颈之后提拉时间的长短寻找合适的引晶电压，以便对晶格再次删选，使优良的晶格发育下去，同时还可以适当通过调节旋转速度来控制结晶端部的大小，以便更好的控制放肩速率，因为目前蓝宝石单晶炉一般没有温度传感器，靠操作者经验确定引晶电压，不可靠，根据旋转缩颈结晶的大小来确定提拉时间、提拉高度等的这些工艺参数，通过对上述这些工艺参数建立一个统一量化的标准，以提高引晶成功率，提高晶体的良品率。

主权项

一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体旋转缩颈引晶控制方法，其特征在于，所述控制方法包括以下步骤：步骤a）：将氧化铝饼料装入单晶炉钨坩埚内，在籽晶夹头上安装上籽晶，然后将籽晶夹头安装在籽晶杆上，位置在距离液面50mm处，开启真空系统，待真空系统达到长晶要求时开启加热系统，待原料全部融化并且熔液表面稳定后使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm；步骤b）：调节籽晶位置，使得籽晶下端部在距离液面2‑3mm处预热30‑60min；步骤c）：旋转籽晶，转速1‑3rpm，调节工作电压，控制结晶初期直径在30.5‑31mm，再次调节工作电压，进行缩颈控制，缩颈长度为24‑26mm，直径27.5‑29.9mm，待缩颈完成后再使缩颈结晶面放开；最后控制结晶端部直径在44.5‑45.5mm后开始放肩并且减少转速至停止；步骤d）：长晶、分离、退火、取晶。