[发明专利]熔丝结构、包含该熔丝结构的半导体器件及制备方法在审
申请号: | 201410826883.1 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN105789178A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 吴建兴 | 申请(专利权)人: | 中航(重庆)微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/768 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 401331 重庆*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种熔丝结构、包含该熔丝结构的半导体器件及制备方法,可基于传统熔丝结构的基础上,通过在熔断区中开设凹槽,进而形成能量转折与放电点,以使得施加在熔丝上的电能集中在凹槽的区域中,在确保流经熔丝的电流或两端的电压差大于预定值后,该能量转折与放电点能够及时的熔断,且不会产生回接,同时其熔断点又可控,利于电路的设计。 | ||
搜索关键词: | 结构 包含 半导体器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种熔丝结构,其特征在于,包括:熔丝本体,设置有熔断区及位于该熔断区两端的连接区;其中,位于所述熔断区中的所述熔丝本体上设置有凹槽,以用于形成熔断处。
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