[发明专利]一种中性胶体二氧化硅的制备方法有效
申请号: | 201410828680.6 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN105778775B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 王良咏 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种二氧化硅研磨颗粒的制备方法,该方法包括:对酸性胶体二氧化硅研磨颗粒溶液进行pH中和处理,其中所使用的pH调节剂为硅酸盐,中和后该酸性胶体二氧化硅研磨颗粒溶液的pH在4‑8之间。本申请的发明人发现,通过硅酸盐溶液调节酸性胶体二氧化硅pH值至4‑8,可得到非常稳定的胶体二氧化硅。 | ||
搜索关键词: | 一种 中性 胶体 二氧化硅 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种中性胶体二氧化硅的制备方法,包括:对酸性胶体二氧化硅研磨颗粒溶液进行pH中和处理,其中所使用的pH调节剂为硅酸盐,中和后所述酸性胶体二氧化硅研磨颗粒溶液的pH在4‑8之间。
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