[发明专利]高稳定性ITO玻璃刻蚀系统有效
| 申请号： | 201410829636.7 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104496197A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 施利君;徐鸽 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215555 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件和水洗组件，所述刻蚀组件和所述水洗组件安装有多个分离式传动组件，所述分离式传动组件包括安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件外的第一磁力轮、安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件内且与所述第一磁力轮相对应的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构。从而可以将第一磁力轮设置在系统内部而第二磁力轮设置在系统外部，避免了磨损而产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染；而且有利于提高整个系统运行的稳定性，提高使用寿命生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 稳定性 ito 玻璃 刻蚀 系统 | ||
【主权项】：
一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件（1）和水洗组件（2），其特征在于：所述刻蚀组件（1）和所述水洗组件（2）安装有多个分离式传动组件（4），所述分离式传动组件（4）包括安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）外的第一磁力轮（421）、安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）内且与所述第一磁力轮（421）相对应的第二磁力轮（422）、端部与所述第二磁力轮（422）相连接的滚轴（43）以及安装在所述滚轴（43）上且间隔设置的滚轮（44）以及用于带动所述第一磁力轮（421）转动的传动机构（41）。
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