[发明专利]图形化蓝宝石衬底的制作方法有效
| 申请号： | 201410830886.2 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104485402A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 许圣贤;陈功;林素慧;黄禹杰;徐宸科 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/16;H01L33/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的制作方法，其包括步骤：1）提供一蓝宝石衬底，具有相对的第一表面和第二表面，在第一表面上形成图案化掩膜层；2）采用干蚀刻在第一表面上形成一系列突起结构，所述各个突起结构之间的连接区域被蚀刻成小凸面；3）对所述蓝宝石衬底的第一表面进行湿法蚀刻，从而形成图形化表面，该表面具有一系列规则排列的第一尺寸d1的第一突起部，所述各个第一突起部之间的连接区没有C面（即（0001）面）。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 蓝宝石 衬底 制作方法 | ||
【主权项】：
图形化蓝宝石衬底的制作方法，包括步骤：1）提供一蓝宝石衬底，具有相对的第一表面和第二表面，在第一表面上形成图案化掩膜层；2）采用干蚀刻在第一表面上形成一系列突起结构，所述各个突起结构之间的连接区域被蚀刻成小凸面；3）对所述蓝宝石衬底的第一表面进行湿法蚀刻，从而形成图形化表面，该表面具有一系列规则排列的第一尺寸d1的第一突起部，所述各个第一突起部之间的连接区没有C面（即（0001）面）。
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