[发明专利]一种蓝宝石抛光废液的再处理方法在审
申请号: | 201410831543.8 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN105778777A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 王良咏;王雨春;戴程隆 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种蓝宝石抛光废液的再处理方法,其中该蓝宝石抛光废液中包括胶体二氧化硅研磨颗粒,该再处理方法包括:将前述蓝宝石抛光废液进行湿法刻蚀;将蚀刻后的前述蓝宝石抛光废液的pH值重新调节至蓝宝石抛光液初始值。通过该处理方法处理后的抛光液重新达到抛光要求,即可实现重复利用。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 抛光 废液 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石抛光废液的再处理方法,其中该蓝宝石抛光废液中包括胶体二氧化硅研磨颗粒,所述再处理方法包括:将所述蓝宝石抛光废液进行湿法刻蚀;将蚀刻后的所述蓝宝石抛光废液的pH值重新调节至蓝宝石抛光液初始值。
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