[发明专利]多功能红外气体传感器有效
| 申请号： | 201410833057.X | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104568808A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吕晶;王继平;胡伟琴 | 申请（专利权）人： | 杭州麦乐克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01J5/12;G02B5/20 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 周豪靖 |
| 地址： | 311188 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明所设计的多功能红外气体传感器，包括红外特征滤光片和热电堆红外探测器，热电堆红外探测器包括多个感测单元，每个感测单元包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层和刻蚀开口，硅基体中心通过框架设置刻蚀开口，在硅基体上设置支撑臂，支撑臂上间隔设置有热电堆，红外吸收层悬浮于框架中间，通过支撑臂与框架固定连接，硅基体和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种多功能红外气体传感器，包括红外特征滤光片和热电堆红外探测器，其特征是：热电堆红外探测器包括多个感测单元，每个感测单元包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层和刻蚀开口，硅基体中心通过框架设置刻蚀开口，在硅基体上设置支撑臂，支撑臂上间隔设置有热电堆，红外吸收层悬浮于框架中间，通过支撑臂与框架固定连接，硅基体和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区。
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