[发明专利]一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法在审
申请号: | 201410834572.X | 申请日: | 2014-12-27 |
公开(公告)号: | CN104593848A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 徐友龙;杜显锋;门凯 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C25D11/16 | 分类号: | C25D11/16;H01G9/055;H01G9/045 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法,将腐蚀铝箔浸入到浓度为0.001~0.1mol/L,pH值为3~7的表面活性剂溶液;浸泡完毕后烘干,得到改性的腐蚀铝箔;将改性的腐蚀铝箔浸入到含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体溶液中,通过物理吸附或化学吸附在铝箔表面沉积一层含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体,接着依次热处理、阳极氧化,在改性的腐蚀铝箔上形成具有高介电常数的氧化铝/氧化物复合介质膜,完成腐蚀铝箔的表面改性。本发明实施设备简单,所用表面活性剂成本低廉,易于大规模工业化,表面处理后能显著改善高介电氧化物在腐蚀铝箔表面的成膜性,大幅提高铝箔阳极氧化后的比容。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 腐蚀 铝箔 比容 表面 改性 方法 | ||
【主权项】:
一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将腐蚀铝箔浸入到浓度为0.001~0.1mol/L,pH值为3~7的表面活性剂溶液;浸泡完毕后烘干,得到改性的腐蚀铝箔;其中,浸泡温度为0~80℃,浸泡时间为1~60min;2)将改性的腐蚀铝箔浸入到含Ti前驱体溶液、含Zr的前驱体溶液、含Ta的前驱体溶液、含Nb的前驱体溶液或含Hf的前驱体溶液中,通过物理吸附或化学吸附在铝箔表面沉积一层含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体,接着在300‑600℃热处理1~60min,随后在电压为10‑600V,电流密度为10‑100mA/cm2的条件下阳极氧化,以在改性的腐蚀铝箔上形成具有高介电常数的氧化铝/氧化物复合介质膜,完成腐蚀铝箔的表面改性。
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