[发明专利]用于工具部件的异常检测的方法和系统在审
| 申请号： | 201410837979.8 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN105787634A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 余志贤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于工具部件的异常检测的方法和系统。所述方法包括：基于与所述工具的所有部件相关的质量信息数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别；以及基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风险部件。本发明所提供的用于工具部件的异常检测的方法和系统可以在工具部件的异常检测中缩短检测时间，高效地检测出工具的异常部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工具 部件 异常 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于工具部件的异常检测的方法，其特征在于，所述方法包括：基于与所述工具的所有部件相关的质量信息数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别；以及基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风险部件。
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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