[发明专利]一种宏微两级驱动精密定位机构

摘要

本发明一种宏微两级驱动精密定位机构，属于精密定位技术领域，解决了现有技术两级导轨制造和安装难度大、结构复杂化和制造成本高的技术问题；本发明包括压电驱动器、减震系统、基座、气浮导轨、宏动定位系统、微动定位滑块、支架和激光干涉测量仪；基座通过螺钉固定连接在减震系统的上端面，气浮导轨螺钉连接在基座一端上，支架螺钉连接在基座另一端上，激光干涉过螺钉连接在支架上，微动定位滑块与气浮导轨间隙配合；直线电机的动子与宏动定位钳制滑块固定连接，直线电机的定子与基座螺钉连接，两根钳制导轨螺钉连接在基座上；压电驱动器一端与微动定位滑块固定连接，另一端与宏动定位钳制滑块固定连接。

主权项

一种宏微两级驱动精密定位机构，其特征在于，包括压电驱动器(5)、减震系统(1)基座(2)、气浮导轨(3)、宏定动位系统、微动定位滑块(6)、支架(8)和激光干涉测量仪(7)；基座(2)通过螺钉固定连接在减震系统(1)的上端面，气浮导轨(3)通过螺钉固定连接在基座(2)安装平面的一端上，支架8通过螺钉固定连接在基座(2)安装平面的另一端上，激光干涉仪通过螺钉固定连接在支架(8)上，微动定位滑块(6)与气浮导轨(3)间隙配合；宏动定位系统(4)包括宏动气浮滑块(9)、柔性球头铰(10)、间隙调整钉(11)、宏动定位钳制滑块(12)、两根钳制导轨(13)、直线电机(14)、钳制导轨滑块(15)和钳制器(16)；宏动气浮滑块(9)与气浮导轨(3)间隙配合，宏动气浮滑块(9)与宏动定位钳制滑块(12)通过柔性球头铰(10)和间隙调整钉(11)连接，直线电机(14)的动子与宏动定位钳制滑块(12)固定连接，直线电机(14)的定子通过螺钉与基座(2)固定连接，两根钳制导轨(13)相对于直线电机(14)对称的通过螺钉固定连接在基座(2)上；钳制器(16)的一端在钳制导轨(13)上，另一端通过螺钉固定连接在宏动定位钳制滑块(12)的安装面上；压电驱动器(5)一端与微动定位滑块(6)固定连接，压电驱动器(5)的另一端与宏动气浮滑块(9)固定连接。