[发明专利]一种重复可调式的镀膜仿面形工装有效
| 申请号： | 201410838053.0 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104480449A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 武潇野;时光;才玺坤;梅林;张立超;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;G02B1/10 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种重复可调式的镀膜仿面形工装，属于光学镀膜领域，解决了现有技术仿面形夹具难以模拟多种曲率半径和不同口径的镀膜基片，在反复的加热、镀膜过程中，容易发生变形的技术问题；本发明包括行星盘、多个可调式镜座和镀膜基片；多个可调式镜座通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘中央以螺旋放射状排列，镀膜基片在可调式镜座上；本发明对大口径曲面元件进行模拟仿面形镀膜实验中，能够自由选择所模拟面形的曲率半径和镀膜口径，一套本工装能够模拟任意口径和曲率半径的曲面面形，重复使用节约了工装成本；由于每个镜座的角度都是能够调节的，因此有效地避免了由于旋转、加热等导致的工装变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重复 调式 镀膜 仿面形 工装 | ||
【主权项】：
一种重复可调式的镀膜仿面形工装，其特征在于，包括行星盘(1)、多个可调式镜座(4)和镀膜基片(3)；多个可调式镜座(4)通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘(1)中央以螺旋放射状排列，镀膜基片(3)在可调式镜座(4)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410838053.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种制造多孔复合纳米薄膜的方法
- 下一篇：一种钽靶材的制备工艺
- 同类专利
- 专利分类
