[发明专利]用于热的和非热的组织效应的可变频率激励等离子体设备

摘要

公开了一种用于热的和非热的组织效应的可变频率激励等离子体设备和等离子体系统。该等离子体系统包括：等离子体仪器，其具有限定在其中通过的管腔的细长主体以及第一电极和第二电极；与管腔流体地连通并被配置为向管腔提供可离子化介质的可离子化介质源；以及适于耦接至第一电极和第二电极的可变频率能量源，该可变频率能量源被配置为向第一电极和第二电极供应足以激发由可离子化介质源供应的可离子化介质的能量以生成等离子体流出物，其中能量的频率能够被调整以修改等离子体流出物的至少一个属性。

主权项

一种等离子体系统，包括：等离子体仪器，包括：细长主体，限定在所述细长主体中通过的管腔；以及第一电极和第二电极；可离子化介质源，与所述管腔流体地连通并被配置为向所述管腔提供可离子化介质；以及可变频率能量源，适于耦接至所述第一电极和所述第二电极，以及被配置为向所述第一电极和所述第二电极供应足以激发由所述可离子化介质源供应的可离子化介质的能量，以生成等离子体流出物，其中所述能量的频率能够被调整以修改所述等离子体流出物的至少一个属性。