[发明专利]铝合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201410842610.6 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104480445A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 宋爱谋;钟小亮 | 申请（专利权）人： | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 255100 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种铝合金靶材及其制备方法。铝合金靶材的纯度为99.99-99.9999％，平均粒径为1-100微米，相对密度为99-100％，内部孔洞最大尺寸为0.1-2mm的每平方米为0-50个。本发明制造的铝合金靶材具有高纯度的特点；采用铜质水冷模具浇铸，能够有效地提高材料的利用率；由于冷却速度快的原因，靶材树枝晶数量较少。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝合金靶材，其特征在于所述的铝合金靶材的纯度为99.99‑99.9999％，平均粒径为1‑100微米，相对密度为99‑100％，内部孔洞最大尺寸为0.1‑2mm的每平方米为0‑50个。
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