[发明专利]包含有成像设备的分割装置在审
| 申请号： | 201410842749.0 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104766812A | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 郑志华;邓海旋;廖俊杰 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 新加坡2*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于切割工件的分割装置。该分割装置包含有：i）处理器；ii）至少一个固紧设备，用于固定待切割的工件；iii）切割设备，其和该至少一个固紧设备空间上相隔一段间隔距离，该切割设备用于切割固定于该至少一个固紧设备上的工件；以及iv）成像设备，其被操作来捕获包含有切割设备和参考特征的一个或多个图像。具体地，该处理器被配置来根据由成像设备所捕获的一个或多个图像确定切割设备和参考特征之间的间隔距离，以藉此确定切割设备和固定于该至少一个固紧设备上的工件之间的间隔距离。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 成像 设备 分割 装置 | ||
【主权项】：
一种用于切割工件的分割装置，其包含有：处理器；至少一个固紧设备，用于固定待切割的工件；切割设备，其和该至少一个固紧设备空间上相隔一段间隔距离，该切割设备用于切割固定于该至少一个固紧设备上的工件；以及成像设备，其被操作来捕获包含有切割设备和参考特征的一个或多个图像；其中，该处理器被配置来根据由成像设备所捕获的一个或多个图像确定切割设备和参考特征之间的间隔距离，以藉此确定切割设备和固定于该至少一个固紧设备上的工件之间的间隔距离。
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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