[发明专利]高致密导电氧化铌靶材的生产方法

摘要

本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一种高致密导电氧化铌靶材的生产方法。选择五氧化二铌粉和金属铌粉作为原料按照配比放入V型混料机中混料，将混好的粉体原料放入高能球磨罐中球磨，将球磨好的粉体放入高纯石墨模具中，将石墨模具放入热压炉中处理，关闭电源随炉冷，取出靶材坯料，将坯料加工成规定形状的靶材，检测靶材的密度、纯度、电阻率。本发明通过高能球磨机械合金化的方法，让金属铌的分布更加均匀，靶材的导电性更好；通过优化的热压工艺，生产过程更短，成本更低；通过原料的优选，靶材的导电性和致密度更好。

主权项

一种高致密导电氧化铌靶材的生产方法，其特征在于步骤如下：(1)选择五氧化二铌粉和金属铌粉作为原料按照配比放入V型混料机中混料；(2)将混好的粉体原料放入高能球磨罐中球磨；(3)将球磨好的粉体放入高纯石墨模具中，粉体下部用氧化锆陶瓷纸将粉体与石墨下压头隔离，粉体上部用氧化锆陶瓷纸将粉体与石墨垫片隔离，粉体预压1‑5吨；(4)将石墨模具放入热压炉中，将炉内真空度抽至1‑100Pa，充入0.1‑1atm的高纯氩气；(5)按照升温速率为100‑300℃/小时将炉内温度升至500‑800℃，保温0.5‑2小时，将炉内真空度抽至1‑100Pa，充入0.1‑1atm的高纯氩气；(6)给模具施压5‑20MPa，然后按照升温速率为100‑300℃/小时升温至950‑1150℃，温度均匀化0.5‑2小时，再给模具施压20‑50MPa，保压保温1‑4小时；(7)将温度降至500‑800℃，降温速率为50‑200℃/小时，降温过程中保压10‑30MPa；(8)关闭电源随炉冷，温度降至20‑100℃时，取出靶材坯料；(9)将坯料加工成规定形状的靶材；(10)检测靶材的密度、纯度、电阻率。