[发明专利]一种彩色滤光片基板的制作方法在审
申请号: | 201410844602.5 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104678639A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 薛景峰;陈归 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G02B5/20;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;武岑飞 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种彩色滤光片基板的制作方法,包括步骤:提供一基板(10);在基板(10)上形成遮光部分(12);在基板(10)上形成彩色滤光片,其中,彩色滤光片包括彩色部分(14)及开口部分(16);在基板(10)上覆盖平坦层(18),且平坦层(18)填入开口部分(16);对平坦层(18)进行光刻;在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)。本发明采用透明光阻层填入开口部分作为白色光阻,并利用光刻工艺将透明光阻层的表面平坦化,相对于现有技术,在减少一道白色色阻的光刻制程的同时,不会使开口部分上的透明光阻层凹陷,避免透明光阻层的表面凹凸不平,进而提高制成的液晶显示面板的显示品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 彩色 滤光 片基板 制作方法 | ||
【主权项】:
一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于,包括步骤:提供一基板(10);在所述基板(10)上形成遮光部分(12);在所述基板(10)上形成彩色滤光片,其中,所述彩色滤光片包括彩色部分(14)及开口部分(16);在所述基板(10)上覆盖平坦层(18),且所述平坦层(18)填入所述开口部分(16);对所述平坦层(18)进行光刻;在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)。
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