[发明专利]自适应沟槽的调焦调平装置及其方法有效
| 申请号： | 201410851525.6 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105807570B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 齐景超;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自适应沟槽的调焦调平装置，用于测量被测物体的高度和倾斜度，该装置依次包括照明单元、投影单元、被测物体、探测单元及探测器，所述投影单元包括投影狭缝，用于在被测物体上形成若干个测量点，每个测量点包括若干个测量子光斑，若干个所述测量子光斑以不等间距排列的方式设置，使得当有测量子光斑落入沟槽时，根据探测器探测到的测量子光斑的光斑间距来识别有效的测量子光斑，从而测量被测物体的高度和倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 自适应 沟槽 调焦 平装 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种自适应沟槽的调焦调平装置，用于测量被测物体的高度和倾斜度，该装置包括沿光路依次设置的照明单元、投影单元、被测物体、探测单元及探测器，所述投影单元包括投影狭缝，用于在被测物体上形成若干个测量点，每个测量点包括若干个测量子光斑，其特征在于，若干个所述测量子光斑以不等间距排列的方式设置，使得当有测量子光斑落入沟槽时，根据探测器探测到的测量子光斑的光斑间距来识别有效的测量子光斑，从而测量被测物体的高度和倾斜度。
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