[发明专利]一种盘状物夹持旋转装置

摘要

本发明公开了一种盘状物夹持旋转装置，通过沿可动基座圆周方向分设一组固定卡爪和活动卡爪，每个活动卡爪分别与一个固定卡爪相对设置，并通过在活动卡爪及其转动方向两侧分设磁体，利用相邻磁体之间同性相斥的磁力作用分别驱动活动卡爪绕其转动中心来回转动，从而将放置在各固定卡爪上的盘状物夹紧或放开，具有结构简单、动作控制方式便捷可靠、夹持力度可控并可与各类工艺处理腔体相兼容的优点。

主权项

一种盘状物夹持旋转装置，其特征在于，包括：环形旋转平台，其受驱动时作水平旋转；环形可动基座和固定基座，上下设于所述旋转平台上，并与所述旋转平台形成同步旋转，所述可动基座受驱动时在所述固定基座上升起和降落；一组固定卡爪和一组活动卡爪，突出设于所述可动基座上端面，并沿所述可动基座圆周方向分布，所述固定卡爪固接所述可动基座，所述活动卡爪转动连接所述可动基座，每个所述活动卡爪分别与一个所述固定卡爪相对设置；各所述活动卡爪的转动中心下方部位设有第一磁体，对应所述第一磁体的所述活动卡爪转动方向两侧外部设有分别连接所述可动基座、固定基座的第二、第三磁体，每二个相邻所述磁体相对面的磁极相同，且所述第一、第三磁体之间的磁排斥力大于所述第一、第二磁体之间的磁排斥力；其中，所述可动基座降落时，各所述活动卡爪受所述第一、第三磁体之间较大排斥力的作用向所述可动基座内侧转动，将放置在各所述固定卡爪上的所述盘状物朝向各自对应的所述固定卡爪方向夹紧，所述可动基座升起时，各所述活动卡爪受所述第一、第二磁体之间排斥力的作用向所述可动基座外侧转动，将所述盘状物反向放开。