[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置，其中，该阵列基板包括：第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管形成于衬底基板的上方，第一薄膜晶体管为多晶硅薄膜晶体管，第二薄膜晶体管为金属氧化物薄膜晶硅管或非晶硅薄膜晶体管，第一薄膜晶体管位于阵列基板的周边区域，第二薄膜晶体管位于阵列基板的显示区域。本发明的技术方案可有效的解决多晶硅薄膜晶体管无法应用于6G以上的大尺寸显示面板的生产的问题，彻底突破准分子激光晶化工艺瓶颈的限制，有非常高的应用价值。

主权项

一种阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：在衬底基板的上方形成第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管为多晶硅薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管为金属氧化物薄膜晶体管或非晶硅薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管位于所述阵列基板的周边区域，所述第二薄膜晶体管位于所述阵列基板的显示区域。