[发明专利]一种薄膜晶体管阵列基板、液晶显示装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201410854017.3 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104460164B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 吴昊 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 刘松 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板、液晶显示装置及其制造方法，包括一基板，所述基板上包括显示区及围绕所述显示区的边框区；所述基板上设置栅极层、有源层、及位于所述栅极层与所述有源层之间的第一绝缘层，所述第一绝缘层包括位于所述显示区的第一亚绝缘层和位于所述边框区的第二亚绝缘层；所述第二亚绝缘层厚度大于所述第一亚绝缘层厚度。根据本发明实施例提供的方法，通过将基板上显示区的第一亚绝缘层的厚度设置的小于位于边框区的第二亚绝缘层的厚度，在增加了显示区中像素单元存储电容的同时，增加了边框区域电路中薄膜晶体管的耐击穿能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 阵列 液晶 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括一基板，所述基板上包括显示区及围绕所述显示区的边框区；所述基板上设置有栅极层、有源层、及位于所述栅极层与所述有源层之间的第一绝缘层，所述第一绝缘层包括位于所述显示区的第一亚绝缘层和位于所述边框区的第二亚绝缘层；所述边框区包括驱动电路区和非驱动电路区；所述第二亚绝缘层包括第一子绝缘层和第二子绝缘层，所述第一子绝缘层位于所述非驱动电路区，所述第二子绝缘层位于所述驱动电路区，所述第二子绝缘层厚度与所述第一亚绝缘层厚度相同，所述第一子绝缘层厚度大于第二子绝缘层厚度。
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