[发明专利]干式蚀刻机及用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置在审
| 申请号： | 201410856121.6 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104480468A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 肖文欢 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;B03C1/02 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干式蚀刻机和用于捕集气体中磁性颗粒的捕集装置。干式蚀刻机沿着气体流动方向依次包括蚀刻装置和抽风装置，以及设置在蚀刻装置与抽风装置之间的捕集装置。捕集装置包括壳体，以及设置在壳体内的磁性过滤单元。磁性过滤单元与壳体之间，和/或磁性过滤单元内形成有通道。其中，磁性过滤单元能够吸附流经通道的气体内的磁性颗粒，避免磁性颗粒在抽风装置的内部进行沉积，从而提升抽风装置的抽风效率和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 用于 气体 磁性 颗粒 集装 | ||
【主权项】：
一种干式蚀刻机，包括能够产生带有磁性颗粒的气体的蚀刻装置和能够从所述蚀刻装置内抽吸所述气体的抽风装置，以及设置在所述蚀刻装置与抽风装置之间的用于捕集所述气体中的磁性颗粒的捕集装置，其中所述捕集装置包括具有进口和出口的壳体，以及设置在所述壳体内的磁性过滤单元，其中所述磁性过滤单元与壳体之间，和/或所述磁性过滤单元内形成有与所述进口和出口均连通的通道，所述磁性过滤单元构造成当所述气体流经所述通道时，能够吸附所述气体内的磁性颗粒。
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