[发明专利]掩模传输装置、曝光装置及掩模传输方法

摘要

本发明公开了一种掩模传输装置，包括取放版机械手，用于从版盒中取出掩模，并承载所述掩模移动；定位对准装置，用于将所述掩模与掩模台对准；双重制动装置，用于异常情况时对所述取放版机械手制动。本发明还公开了曝光装置及掩模传输方法。本发明所提供的掩模传输装置，在发生异常情况时，双重制动装置对所述取放版机械手制动，所述取放版机械手不会因自重而跌落，所述掩模不会从所述取放版机械手上滑落，保证了工作人员的人身安全，保证了所述掩模以及所述取放版机械手的安全；并且由于所述定位对准装置的设置，提高了所述掩模传输的精确性。

主权项

一种掩模传输装置，其特征在于，包括：取放版机械手(3)，用于从版盒(1)中取出掩模(2)，并承载所述掩模(2)移动；定位对准装置(4)，用于将所述掩模(2)与掩模台(5)对准；双重制动装置(7)，用于异常情况时对所述取放版机械手(3)制动；所述取放版机械手(3)包括升降轴(3‑1)，所述双重制动装置(7)包括电机电磁制动装置和导轨气动制动装置，所述电机电磁制动装置和所述导轨气动制动装置均与所述升降轴(3‑1)连接；所述导轨气动制动装置包括控制器、失效检测传感器(7‑5)和气动式制动器(7‑6)，所述失效检测传感器(7‑5)和所述气动式制动器(7‑6)均与所述控制器信号连接；所述气动式制动器(7‑6)通过导向装置(7‑7)与所述升降轴(3‑1)连接；所述失效检测传感器(7‑5)外部设有传感器挡片(7‑8)，所述传感器挡片(7‑8)用于挡住所述失效检测传感器(7‑5)；所述传感器挡片(7‑8)与传动装置(12)接触连接。